全钢或铝合金防静电架空地板：最常用，导电性能好，便于下方走线，便于形成等电位接地网络。

PVC防静电卷材/片材：铺设于平整地面，美观、耐磨，但接地网络需专门铺设。

类型选择：

关键参数：表面电阻和系统电阻需满足国家标准（如GB 50174中规定的 1.0×10^5 Ω 至 1.0×10^9 Ω）。电阻值在此范围内既能快速泄放静电，又能保障人员安全（避免触电）。

接地：地板必须有完善的接地系统，通过铜箔网格或接地导线连接到实验室的共用接地端子。

宜采用防静电涂料或具有防静电功能的彩钢板、石膏板。避免使用易产生静电的普通塑料或绝缘材料装饰。

静电在低湿度环境（相对湿度低于40%）下极易产生。实验室需配备恒温恒湿空调系统，将相对湿度控制在40%-60% 的适宜范围内。这是成本效益最高的防静电措施之一。

对于洁净度要求高的区域，普通HEPA过滤器摩擦可能产生静电。可选用防静电型HEPA过滤器。

在关键区域（如芯片操作台）上方，可安装离子风机，它能持续产生正负离子流，中和工作区域内物体表面积累的静电。