防静电工作台
台面:必须使用防静电台垫(通常为三层结构,表面为耗散层,底层为导电层),并将其通过腕带接地插孔可靠接地。
接地:工作台应有独立的接地端子,方便操作者佩戴腕带和设备接地。
人员防护(最关键的一环)
防静电腕带:操作敏感器件时必须佩戴,并通过限流电阻可靠连接到工作台接地端子。
防静电工作服/大褂、鞋/鞋套:避免化纤衣物,穿着专用的防静电织物,将人体静电导入地板系统。
防静电手套/指套:直接接触敏感元器件时使用。
仪器与设备接地
所有进入实验室的精密仪器(如SEM、AFM、光谱仪)、工作台、机柜、推车等金属设备外壳,都必须使用黄绿双色接地线连接到实验室的共用接地网,实现等电位。